실시간 Glass식각 두께 측정
iSlimi8000
제품특징
Feature
OLED/LCD 식각 중 Glass의 두께를 실시간 정밀 측정하여 목표두께 도달 시 공정 완료하는 스마트 공정 모니터링
1) 대면적 Panel의 식각 전/중/후 단계별 두께 관리2) 적층 시료 개별 두께 측정 (TFT-LCD,CF)
3) LCD, OLED Panel 두께측정 (Active cell측정 가능)
4) Top Spray & Dipping 식각기 사용
5) 사파이어/실리콘 웨이퍼 두께 측정
6) 내부식성 재질과 구조로 내구성 확보
7) 최대 1회 식각으로 공정 완료
iSlimi7000TM
제품특징
Feature
OLED/LCD 식각 중 Glass의 두께를 실시간 정밀 측정하여 목표두께 도달 시 공정 완료하는 스마트 공정 모니터링
1) 대면적 Panel의 식각 전/중/후 단계별 두께 관리2) 적층 시료 개별 두께 측정 (TFT-LCD,CF)
3) LCD, OLED Panel 두께측정 (Active cell측정 가능)
4) Top Spray & Dipping 식각기 사용
5) 사파이어/실리콘 웨이퍼 두께 측정
6) 내부식성 재질과 구조로 내구성 확보
7) 최대 1회 식각으로 공정 완료
사양
Specification
| Item | Specification |
|---|---|
| 측정 방식 | Low Coherence Interferometry |
| 빔 사이즈 | 45 um |
| 측정 범위 | 12um ~ 8mm |
| 측정 허용오차 | ± 0.1 um |
| 측정 정밀도 | 0.1 um |
| 가용 측정 Layer | ≤ 20 Layers |
| 유효 작업온도 | 15 ℃ ~ 30 ℃ |
| 유효 작업습도 | 10 % ~ 90 % (non-condensing) |