실시간 Glass두께 전수측정
GTM3000
제품특징
Feature
세정 중 Glass의 두께를 실시간 정밀측정 슬리밍 전/후 두께분석 스마트 공정 모니터링
1) 비 접촉, 비 파괴, 고속 측정 속도 ( 50 Hz )2) 손쉬운 측정용 센서 설치(세정기 부착)
3) 혼합 적층시료 정밀 개별두께 측정 (TFT-LCD,OLED)
4) LCD, OLED Panel 두께측정 (Active cell측정 가능)
5) 멀티측정 적용 가능
6) 세정 후 두께 측정(전수)
7) 수입/출하 샘플링 검사
갤러리
Gallery
사양
Specification
| Item | Specification |
|---|---|
| 측정 방식 | Low Coherence Interferometry |
| 빔 사이즈 | 45 um |
| 측정 범위 | 12um ~ 8mm |
| 측정 허용오차 | ± 0.1 um |
| 측정 정밀도 | 0.1 um |
| 가용 측정 Layer | ≤ 20 Layers |
| 유효 작업온도 | 15 ℃ ~ 30 ℃ |
| 유효 작업습도 | 10 % ~ 90 % (non-condensing) |