실시간 초박막 글라스(UTG) 두께측정
UTG2000
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제품특징
Feature
초박막 글라스 UTG(=Ultra Thin Glass)의 세부 간격 자동 두께 측정 및 분류
1) 비접촉, 비파괴 측정 (글라스 표면 스크래치 및 파손 방지)2) 12~100㎛ 광범위한 UTG 두께 측정가능 (최대 5,000㎛)
3) 자동 글라스 사이즈 측정(가로/ 세로)
4) 100Hz 주기로 조밀하고 신속한 두께 측정 가능 (TACT Time 15초 이하/원장, 250포인트 측정기준)
5) 3축 제어 자동 측정(500x500mm)
6) 측정값에 대한 ERP관리 및 3D Map 제공
7) 측정결과 균일도 등급별 분류 기능
갤러리
Gallery
사양
Specification
| Item | Specification |
|---|---|
| 측정 방식 | Low Coherence Interferometry |
| 빔 사이즈 | 45㎛ |
| 측정 범위 | 12~100㎛ (최대 5mm) |
| 측정 허용오차 | +/-0.1㎛ |
| 측정 정밀도 | 0.1㎛ |
| 측정 거리 | 150mm |
| 스캔 타입 | 자동 스캔 |
| 택타임 | 15초 이하/원장 (250포인트 측정기준) |