1) 금속, 플라스틱, 유리, 세라믹, 실리콘, 중합체, 접착제, 합성물, 액체, 생물학적 조직 등으로 구성된 표면의 마이크론 분해능 측정
2) 부스러기, 긁힘, 다공성 등의 결점 발견 지원
3) 폴리머 및 Biological 샘플/티슈 등 반투명성 물질의 두께 측정
4) Volume loss: 표면 마모 또는 기타 손상
5) 위치, 프로필, 직선도, 평탄도, 웨이브 등
6) High-aspect-ratio features: 톱니, 스텝, 나사산, 스플라인, 날카로운 가장자리 등