[특장점]

√ 간단한 장비 장착 (<4 hr)

√ 완전 자동화에 의한 공정제어 (EOP)

√ 과식각 사고 원천적 제거

√ DI Water소모량 / HF 오폐수 획기적 감소

√ 식각 작업 공수 감소 (>20 min/batch)

√ 식각 공정 생산성 향상 (>30 %)

√ 공정능력 지수(Cp, Cpk) 탁월한 향상

√ 용액 내 다층 측정 : 식각액 포함 20층 측정

√ 슬러지 FREE : 슬러지 영향 배제

√ 안심 설계 : 측정기구, 지그 충돌 원천 제거

√ 콤팩트 설계 : 측정기구 최소 크기 구현

√ 혁신적 측정 기구 설계 : 포커스 구동 내재화

[사용 용도]

√ Top Spray & Dipping 전자동 실시간 두께 측정 장비

[응용 분야]

√ FTP 글라스 전자동 실시간 두께 측정

[특 징]

√ 대면적 Panel의 식각 전/중/후 단계별 두께 관리

√ 적층시료 개별 두께 측정(TFT-LCD, CF)

√ One shot, One kill 공정 완료

√ 내부식성 재질과 구조로 내구성 확보