블랭크 마스크(Blank Mask) 두께 및 평탄도 측정.
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Zflat2000[특장점]
√ 비접촉, 비파괴 전후면 동시 평탄도 측정
√ 2차원, 3차원 이미지 제공
[적용]
√ 반도체 웨이퍼용 블랭크마스크 전면 두께 분포 측정
[ 장비 사양]
측정 방법 낮은 일관성 간섭 광원 S-LED 1310 nm 파큘라 45 um 효과적인 작동 거리 65 mm 측정 범위 12 um ~ 8mm 측정 오류 ± 0.1 um 측정 정확도 0.1 um 측정 주파수 100 Hz -
Zflat1000[응용 분야]
√ 폴리싱 패드의 두께 측정
√ 버블 재질 패드의 두께 측정 가능
[장비 사양]
√ 측정 원리 : 공초점 반음계
√ 광원 : LED
√ 측정 시간: 최대 4000 Hz
√ 전송 속도: 이더넷(100 Mbit); RS422(최대 10 MBaud); RS232(9600 ~ 1843200 Baud)