블랭크 마스크(Blank Mask)란 반도체 및 평판디스플레이 공정 재료인 포토 마스크의 원재료이다.
석영 유리 기판에 얇은 크롬 막과 감광막을 입히는 방식으로 생산한다.
비즈컨의 솔루션은 블랭크 마스크의 두께와 평탄도를 신속 정확하게 측정하여 제품의 품질을 편리하게 관리할 수 있습니다.
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Zflat2000[특장점]
√ 비접촉, 비파괴 전후면 동시 평탄도 측정
√ 2차원, 3차원 이미지 제공
[적용]
√ 반도체 웨이퍼용 블랭크마스크 전면 두께 분포 측정
[ 장비 사양]
측정 방법 낮은 일관성 간섭 광원 S-LED 1310 nm 파큘라 45 um 효과적인 작동 거리 65 mm 측정 범위 12 um ~ 8mm 측정 오류 ± 0.1 um 측정 정확도 0.1 um 측정 주파수 100 Hz